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當前位置:首頁產品中心半導體光學檢測系列SiC晶圓少子壽命質量成像監測系統
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半導體光學檢測系列
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碳化硅成像檢測,SiC晶圓質量成像檢測系統:晶圓襯底質量(載流子壽命)高速成像,快速篩查外延片晶格質量。
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